MTM-1510M金相顯微鏡

MTM-1510M金相顯微鏡用途：

MTM-1510M測量型金相顯微鏡是一種兼顧影像、目視與納米高度測量多用的高精度、高效率測量儀器，它具有電視成像與目視光學兩套瞄準系統，可人工觀察金屬表面的金相組織結構，是集光、機、電、算、影像于一體的顯微鏡，以二維測量為主，也可作三維輔助測量。廣泛應用于電子組件，精密模具，精密刀具，塑料，PCB加工方面，測鍍膜厚度，手機玻璃等工業領域。

MTM-1510M金相顯微鏡特點：

1.X、Y、Z三軸0.5um分辨率；

2.具Z軸粗調/微調旋鈕；

3.同軸表面光/底光量測；

4.內建偏光量測光學模塊；

5.可量測透明材質納米級高度差；

6.可選配白光納米檢測模組。

技術規格參數：

型號：MTM-1510M

工作臺     金屬臺尺寸（mm）：210*160

               玻璃臺尺寸（mm):354*228

               X、Y運動行程（mm）：150*100

X、Y、Z向分辨率（um):  0.5

X、Y坐標示值誤差（um）： 2.5+L/100

外形尺寸（mm）：590*560*850

儀器重量：100kg

Z向行程（mm）：120

物鏡放大倍數：5X 、10X 、20X 、50X

目鏡放大倍數：10X

總放大倍數：50X-500X

物鏡放大倍率誤差：包括畸變在內的放大率誤差：≦0.08%

透射照明光源：可調高亮度LED燈源

反射照明光源：可調高亮度LED燈源

單層透明膜厚度測量模組

高精度測量模式

厚度測量范圍     100nm-300nm            300nm-500nm         500nm-3um

分辨率               5nm                              5nm                      7.5nm

快速測量模式

厚度測量范圍        3um-20um

分辨率                  0.1um